A. Latar Belakang.
Pada saat ini aplikasi dari perkembangan teknologi lapisan tipis telah meluas, misalnya komponen aktif dari alat yang digunakan untuk komputer dan komunikasi dan bidang mikroelektronik. Alasan yang sesuai dengan tuntutan perkembangan teknologi lapisan tipis menuju teknologi tinggi adalah sifat atau karakter lapisan tipis yang dapat divariasi secara drastis baik secara langsung (variasi parameter deposisi) maupun secara tidak langsung (annealing dan irradiasi).